オリジナル商品

【高温プレートヒーター】

従来、半導体や液晶の熱処理プロセスでは金属製の面状ヒーターやホットプレートが採用されて来ました。
しかし、近年は絶縁膜の高耐熱化の傾向が進み、面状ヒーターやホットプレートにも高温性能が求められています。
従来は主としてアルミ製であったので300℃が限界でしたが、今回我社ではヒーター温度600℃、
処理温度500℃の高温ヒーターを開発するに至りました。

「RECRYSTA」は、半導体製造装置や液晶・有機EL製造装置への採用を目的に開発された平板型ヒーターです。
材料を500℃の高温に加熱できるのでCVDの予熱やPI膜の焼成の工程で利用できます。
具体的には焼成炉や予熱炉などのヒーターとしての採用を期待しています。
※応用事例の詳細はカタログに掲載しております

 

 特 徴 

1.600℃の高温安定を維持

安定して600℃の高温を維持できる。
ヒーター表面温度精度は±2%以内を確保。


2.ヒーターが軽量な為、温度レスポンスが優れている

20~600℃まで10分以内で昇温可能。
ヒーターが軽量な為、温度レスポンスが優れている。


3.低発塵性(クラス10)

ヒーター材料が低発塵の為、クラス10に対応する。


4.大幅なコスト削減を実現

ヒーター構造の単純化と、ヒーター材料の低価格化で、
同様・現状ヒーターより大幅なコスト削減を実現。

 

高温プレートヒーター「RECRYSTA」のカタログです。
商品の情報はこちらでご確認いただけます。

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